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가스명
Name of Gas |
순도(%)
Purity |
조성
Composition |
용기(ℓ)
Cylinder |
충전량
Contents |
밸브규격
Valve Outlet |
B2H6
(디보란) |
99.995 |
O₂<1, N₂<5,
H.C<1, CO₂<20,
H₂O<1, CO<5 |
10 |
혼합가스 |
φ22-14山
右 |
| 47 |
PH₃
(포스핀) |
99.999 |
O₂<1, N₂<1,
CO₂<1, CH4<1,
H₂O<1, CO<1 |
10 |
" |
φ22-14山
右 |
| 47 |
" |
AsH₃
(아신) |
99.9995 |
O₂<1, N₂<1,
CO₂<0.5, H.C<0.5,
H₂O<1, CO<0.5 |
10 |
" |
φ22-14山
右 |
| 47 |
" |
|
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   |
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