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가스명
Name of Gas |
순도(%)
Purity |
분순물(ppm)
Impurities |
용기(ℓ)
Cylinder |
충전량
Contents |
밸브규격
Valve Outlet |
SiH₄
(모노실란) |
99.9999 |
O₂<1, N₂<1,CH₄<0.1,
CO₂<0.1, H₂O<1,
H.C<0.1,CO <0.1,T-Cl<1 |
10 |
0.3kg,
0.5kg |
φ22-14山
左 |
| 47 |
2.5kg,
5kg,10kg |
SiH6
(디실란) |
99.99 |
O₂<0.5, N₂<2,
CO₂<0.1, THC<0.1,
H₂O<2, H₂<0.1 |
1 |
0.2kg |
φ22-14山
左 |
| 3.4 |
0.3kg,
0.5kg |
| 10 |
1.2kg |
SiCl₄
(테트라
클로로실란) |
99.9999 |
SiHCl₃<1, SiH2Cl2<1,
SiH3Cl <1 |
10(SUS제) |
10kg |
|
| 30(SUS제) |
30kg
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SiH₂Cl₂
(디클로로
실란) |
99 |
SiHCl3<50,
SiH2Cl2<1
SiF4<10, HCl<1 |
10(SUS제) |
5, 10kg |
φ22-14山
左 |
| 40(SUS제) |
40kg |
SiF₄
(테트라플루
오르실란) |
99.999 |
O₂<1, N₂<1
H₂<1, H₂O<1 |
3.4 |
0.3kg |
φ22-14山
左 |
| 10 |
1kg |
| 47 |
5kg |
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